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本發(fā)明提出一種基于OPC標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體裝備的監(jiān)控系統(tǒng)，包括：下位機組，下位機組與半導(dǎo)體裝備相連，用于控制半導(dǎo)體裝備的運行，并監(jiān)測半導(dǎo)體裝備的運行狀態(tài)及過程參數(shù)；上位機，上位機與下位機組相連，用于向下進(jìn)行監(jiān)控和管理，并從下位機組獲取半導(dǎo)體裝備的...該專利屬于清華大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過清華大學(xué)授權(quán)不得商用。