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本發明系提供一種PECVD沈積設備加熱器均溫板固定裝置，通過等高柱凹槽設計將加熱器均溫板扣固在等高柱凹槽內，取代以螺絲固定方式，鎖固在一固定源上，有效避免加熱器均溫板因加熱時產生的膨脹變形量無法伸縮的現象，導致加熱器均溫板變形。...
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