【技術實現步驟摘要】
本專利技術屬于光伏玻璃工藝設備領域，具體涉及一種PECVD沈積設備加熱器均溫板固定裝置。
技術介紹
通常PECVD沈積設備內置加熱器均溫板組件是使用螺絲等鎖固扣件固定于加熱器框架上，但由于加熱器發熱后，均溫板承受一定程度的熱源，同時隨著時間變化會產生不同程度的帳縮，致使均溫板尺寸發生變化，若使用螺絲鎖固方式固定，均溫板會因鎖固而無法自由變形而產生不同程度的板內變形無法保持平整度，當溫度下降后并無法回復，導致永久變形產生，影像均溫板均勻散熱的目的。
技術實現思路
綜上所述，為了克服現有技術不足，本專利技術的主要目的在于提供一種PECVD沈積設備加熱器均溫板固定裝置，它利用等高柱本體上車削固定凹槽以放置均溫板，使均溫板有自由的空間產生因熱源而發生的尺寸上的變化，解決了因鎖固方式無法自由膨脹而致使均溫板表面平整度發生永久變形的現象。本專利技術一種PECVD沈積設備加熱器均溫板固定裝置具有以下優點: 1.本專利技術利用等高柱車削凹槽方式固定加熱器均溫板，保證均溫板表面平整度 2.本專利技術結構簡單，拆卸快速。附圖說明圖1系為本專利技術結構示意圖。主要組件符號說明 1...等聞柱本體 2...固定凹槽具體實施例方式下面結合附圖對本專利技術做進一步說明。請參閱圖1所示，一種PECVD沈積設備加熱器均溫板固定裝置，其包括等高柱本體I，本體上車削固定凹槽2以上所述實例是對本專利技術技術方案的說明而非限制，所屬
普通技術人員的等同替換或者根據現有技術而做的修改 ，只要未超出本專利技術技術方案的思路和范圍，均應包含在本專利技術的權利要求范圍之內。權利要求1.一種P...
【技術保護點】
一種PECVD沈積設備加熱器均溫板固定裝置，其包括等高柱本體及凹槽組成。
【技術特征摘要】
【專利技術屬性】
技術研發人員：周文彬，劉幼海，劉吉人，
申請(專利權)人：吉富新能源科技上海有限公司，
類型：發明
國別省市：
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