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一種用于硅片與玻璃片的低溫超聲陽極鍵合的硅片夾持器，所述硅片夾持器由變幅桿連接塊，絕緣墊片，高壓氣體接頭，真空吸附接頭，高壓電接片，硅片夾持腔體，第三預緊螺釘，第三預緊片，第三預緊彈簧，第三夾持片，真空吸附口，第四預緊螺釘，第四預緊片，第四...
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