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本發(fā)明公開了一種紅外-太赫茲雙波段陣列探測器微橋結構及其制備方法，用于紅外與太赫茲波段的探測與成像。所述微橋結構的頂層為雙層氧化釩薄膜，下層氧化釩薄膜為具有高電阻溫度系數(shù)（TCR）的無相變氧化釩薄膜，用作紅外與太赫茲波段的敏感層，上層氧化釩...該專利屬于電子科技大學所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過電子科技大學授權不得商用。
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本發(fā)明公開了一種紅外-太赫茲雙波段陣列探測器微橋結構及其制備方法，用于紅外與太赫茲波段的探測與成像。所述微橋結構的頂層為雙層氧化釩薄膜，下層氧化釩薄膜為具有高電阻溫度系數(shù)（TCR）的無相變氧化釩薄膜，用作紅外與太赫茲波段的敏感層，上層氧化釩...