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本發明提供一種氣體注入器和具有所述氣體注入器的膜沉積設備。所述氣體注入器包含主體、供應孔、注入孔以及分配板。所述主體經配置以在其中提供內部空間。所述供應孔形成于所述主體的上表面中以與所述內部空間連通并接收原材料。所述注入孔形成于所述主體的下...該專利屬于周星工程股份有限公司;ADS有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過周星工程股份有限公司;ADS有限公司授權不得商用。
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本發明提供一種氣體注入器和具有所述氣體注入器的膜沉積設備。所述氣體注入器包含主體、供應孔、注入孔以及分配板。所述主體經配置以在其中提供內部空間。所述供應孔形成于所述主體的上表面中以與所述內部空間連通并接收原材料。所述注入孔形成于所述主體的下...