溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
一種硅片與玻璃片的低溫超聲陽極鍵合方法，該方法包括以下具體步驟：將玻璃片夾持在一固定工作臺上，將硅片夾持在超聲換能器上，超聲換能器固定在一可動工作臺上，設(shè)定工作臺的加熱溫度，設(shè)置超聲參數(shù)，設(shè)置陽極鍵合參數(shù)，可動工作臺帶動硅片移動，并按設(shè)定的...該專利屬于山東理工大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過山東理工大學(xué)授權(quán)不得商用。