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一種真空陰極電弧蒸發源的氣動式引弧裝置，包括引弧針、活塞延伸桿、活塞組件、密封絕緣件、動密封、動密封壓墊、活塞組件支撐件，所述動密封壓墊被所述活塞組件支撐件壓緊在所述動密封上，還包括金屬的引弧器底座，所述引弧器底座通過其中部套孔套裝在所述活...該專利屬于東莞市匯成真空科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過東莞市匯成真空科技有限公司授權不得商用。
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