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    下載傳感器裝置的制造方法及傳感器裝置的技術資料

    文檔序號:8763979

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    本發明提供一種傳感器裝置的制造方法以及傳感器裝置,該傳感器裝置的制造方法包括:在基板的第一區域形成第一導電部的步驟;在第一導電部上形成熱電體的步驟;在熱電體上形成第二導電部的步驟;在第二導電部上及第二區域分別形成第一絕緣膜的步驟;通過除去第...
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