傳感器裝置的制造方法及傳感器裝置制造方法及圖紙

本發明專利技術提供一種傳感器裝置的制造方法以及傳感器裝置，該傳感器裝置的制造方法包括：在基板的第一區域形成第一導電部的步驟；在第一導電部上形成熱電體的步驟；在熱電體上形成第二導電部的步驟；在第二導電部上及第二區域分別形成第一絕緣膜的步驟；通過除去第一絕緣膜的一部分而在第一區域形成將第二導電部作為底面的第一開口部，在第二區域形成第二開口部的步驟；在第一開口部及第二開口部中分別埋入第三導電部的步驟；形成在第一區域中覆蓋熱電體、而在第二區域中覆蓋第三導電部的第二絕緣膜的步驟；以及通過除去第二絕緣膜的一部分而形成將第三導電部作為底面的第三開口部的步驟。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種傳感器裝置的制造方法，所述傳感器在基板上的第一區域具有熱電傳感器，同時在所述基板上的與所述第一區域不同的第二區域具有焊盤，所述傳感器裝置的制造方法的特征在于，包括：在所述第一區域形成第一導電部的步驟；在所述第一導電部上形成熱電體的步驟；在所述熱電體上形成第二導電部的步驟；在所述第二導電部上及所述第二區域分別形成第一絕緣膜的步驟；通過除去所述第一絕緣膜的一部分而在所述第一區域形成將所述第二導電部作為底面的第一開口部、在所述第二區域形成第二開口部的步驟；在所述第一開口部及所述第二開口部中分別埋入第三導電部的步驟；形成在所述第一區域中覆蓋所述熱電體、在所述第二區域中覆蓋所述第三導電部的第二絕緣膜的步驟；以及通過除去所述第二絕緣膜的一部分而形成將所述第三導電部作為底面的第三開口部的步驟。

【技術特征摘要】
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【專利技術屬性】
技術研發人員：山田健二，
申請(專利權)人：精工愛普生株式會社，
類型：發明
國別省市：