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本發明公開了一種透射式全穆勒矩陣光譜橢偏儀及其測量方法，方法是將起偏臂產生的調制光線投射到待測樣件表面，檢偏臂將待測樣件反射(或透射)的光線解調并接收，通過對測量光譜進行諧波分析，計算獲得待測樣件的全穆勒矩陣信息，并通過非線性回歸，庫匹配等...
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