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本發明涉及AlCrN涂層的制備技術，本發明設計了一種先進的陰極弧離子鍍AlCrN涂層的裝置，包括電弧發生系統、環境控制系統、工作平臺系統和溫度控制裝置，采用在靶上安裝磁極，達到有效控制Cr離子與Al離子的目的，效果良好，確定了Al靶與Cr靶...
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