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    下載離子轟擊裝置及利用該裝置的基體材料表面的清潔方法的技術資料

    文檔序號:8761443

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    本發明的離子轟擊裝置,在真空腔的一個內側面配置有用絲極構成的加熱式的熱電子釋放電極,在真空腔的其它內側面配置有接受來自熱電子釋放電極的熱電子的陽極,在熱電子釋放電極和陽極之間配置有基體材料。進而具有:在熱電子釋放電極及陽極之間給予電位差,使...
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