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    下載一種等離子氫處理制備黑色Y2O3陶瓷涂層的方法的技術資料

    文檔序號:8761436

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    本發明涉及Y2O3陶瓷涂層制造技術領域,具體涉及一種等離子氫處理制備黑色Y2O3陶瓷涂層的方法。所述方法,包括如下步驟:步驟(1),選擇純度大于99.95%的Y2O3粉末;步驟(2),對待噴涂的基材表面進行預處理;步驟(3),通過等離子體噴...
    該專利屬于中國科學院微電子研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院微電子研究所授權不得商用。

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