一種等離子氫處理制備黑色Y2O3陶瓷涂層的方法技術

本發明專利技術涉及Y2O3陶瓷涂層制造技術領域，具體涉及一種等離子氫處理制備黑色Y2O3陶瓷涂層的方法。所述方法，包括如下步驟：步驟(1)，選擇純度大于99.95％的Y2O3粉末；步驟(2)，對待噴涂的基材表面進行預處理；步驟(3)，通過等離子體噴涂設備在所述基材表面進行等離子噴涂，制備出Y2O3涂層；步驟(4)，將步驟(4)中制備出的Y2O3涂層進行等離子體氫處理，即可得到黑色的Y2O3涂層。本發明專利技術利用等離子體氫還原法制備的黑色Y2O3涂層，具有耐刻蝕、耐臟的性能，且成本較低。

【技術實現步驟摘要】

【技術保護點】
一種等離子氫處理制備黑色Y2O3陶瓷涂層的方法，其特征在于，包括如下步驟：步驟(1)，選擇純度大于99.95％的Y2O3粉末；步驟(2)，對待噴涂的基材表面進行預處理；步驟(3)，通過等離子體噴涂設備在所述基材表面進行等離子噴涂，制備出Y2O3涂層；步驟(4)，將步驟(4)中制備出的Y2O3涂層放置于等離子體氫處理設備，進行等離子體氫處理，即可得到黑色的Y2O3涂層。

【技術特征摘要】

【專利技術屬性】
技術研發人員：邵花，王文東，劉邦武，夏洋，李勇滔，
申請(專利權)人：中國科學院微電子研究所，
類型：發明
國別省市：