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    下載一種半導體器件的技術資料

    文檔序號:8731679

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    本實用新型的實施例公開了一種半導體器件,包括:基底,該基底包括本體層;位于本體層表面內的主結和場限環(huán),主結的深度大于場限環(huán)的深度。本實用新型實施例提供的半導體器件通過在不同的光刻步驟下,先后形成主結和場限環(huán),并使主結結深大于場限環(huán)結深,從而...
    該專利屬于中國科學院微電子研究所所有,僅供學習研究參考,未經過中國科學院微電子研究所授權不得商用。

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