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本發明公開了一種濕法洗凈裝置，包括：可編程序邏輯控制器、液位傳感器、液位傳感器采樣管路、洗凈槽等，HF液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為300mm；HNO3液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為200mm；H2O液位傳感器采...該專利屬于上海華虹NEC電子有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海華虹NEC電子有限公司授權不得商用。
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本發明公開了一種濕法洗凈裝置，包括：可編程序邏輯控制器、液位傳感器、液位傳感器采樣管路、洗凈槽等，HF液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為300mm；HNO3液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為200mm；H2O液位傳感器采...