一種濕法洗凈裝置制造方法及圖紙

本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種濕法洗凈裝置，包括：可編程序邏輯控制器、液位傳感器、液位傳感器采樣管路、洗凈槽等，HF液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為300mm；HNO3液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為200mm；H2O液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為100mm。本發(fā)明專利技術(shù)通過改造傳統(tǒng)的濕法洗凈設(shè)備相關(guān)的HNO3、H2O洗凈槽內(nèi)的液位傳感器采樣管口高低位置，通過高低位置的變化產(chǎn)生液體不同的配比，從而實(shí)現(xiàn)刻蝕條件HF∶HNO3＝2∶1到HF∶HNO3∶H2O＝1∶1∶1的應(yīng)用轉(zhuǎn)變，最終在不影響洗凈效果的前提下，每次洗凈過程可有效降低HF的使用量50％。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本專利技術(shù)屬于半導(dǎo)體集成電路制造領(lǐng)域，尤其涉及一種濕法洗凈裝置。
技術(shù)介紹
在半導(dǎo)體業(yè)界內(nèi)普遍使用HF: HNO3: H2O = I: I: 1(體積比)的刻蝕條件進(jìn)行洗凈生成有D0P0S/P0LY(摻雜的多晶硅擴(kuò)散/多晶硅)膜的石英及SIC部品，傳統(tǒng)的濕法洗凈裝置(購自DAN INDUSTRY, JAPAN，見圖1)原廠配置并沒有HF: HNO3: H2O =1:1:1 (體積比)，一直使用HF: HNO3 = 2: 1(體積比)的刻蝕條件進(jìn)行洗凈，如圖1所示，傳統(tǒng)的濕法洗凈裝置，包括可編程序邏輯控制器1、洗凈槽9、液位傳感器8、以及洗凈槽9內(nèi)相關(guān)液位傳感器采樣管路(包括HF液位傳感器采樣管路4、HN03液位傳感器采樣管路5和H2O液位傳感器采樣管路6)。HF液位傳感器采樣管路4 (LE-P7)的位置為300mm ；HNO3液位傳感器采樣管路5 (LE-P6)的位置為285_ ；H20液位傳感器采樣管路6 (LE-P2)的位置為270_(此處位置指的是各液位傳感器采樣管路4、5、6的管口到洗凈槽9底部的距離)。為了降低酸的使用量，減少排放，提高設(shè)備使用效能，亟需提出此刻蝕條件(HF: HNO3=2:1到HF: HNO3: H2O = I: I: I)的變更、改造方案。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)要解決的技術(shù)問題是提供一種濕法洗凈裝置，以提高設(shè)備使用效能、節(jié)能減排。為解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)提供一種濕法洗凈裝置，包括:可編程序邏輯控制器、液位傳感器、液位傳感器采樣管路和洗凈槽；所述洗凈槽內(nèi)設(shè)有H20、HF、HNO3的進(jìn)入管路，該進(jìn)入管路上設(shè)有開關(guān)控制閥和氣動(dòng)閥，該氣動(dòng)閥由可編程序邏輯控制器控制；所述可編程序邏輯控制器與液位傳感器連接；所述液位傳感器采樣管路包括HF、HNO3和H2O液位傳感器采樣管路，所述液位傳感器采樣管路的管口位于洗凈槽內(nèi)；當(dāng)液位到達(dá)液位傳感器采樣管路的管口位置時(shí)，液位傳感器閉合，同時(shí)給可編程序邏輯控制器信號(hào)，可編程序邏輯控制器控制相應(yīng)氣動(dòng)閥關(guān)閉，停止該路液體的供應(yīng)；所述HF液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為300mm ;所述HNO3液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為200mm ;所述H2O液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為100mm。所述洗凈裝置的刻蝕條件比例為:HF: HNO3: H2O = I: I: I，上述比例指體積比。所述液位傳感器采樣管路上設(shè)有過濾器。所述開關(guān)控制閥為手動(dòng)閥，該手動(dòng)閥的手柄順時(shí)針旋轉(zhuǎn)到底為關(guān)的狀態(tài)，逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)到底為開的狀態(tài)，該手動(dòng)閥是H20、HF、HNO3進(jìn)入設(shè)備的控制閥。所述洗凈槽底部還設(shè)有排液管路，排液管路上還設(shè)有氣動(dòng)閥，所述氣動(dòng)閥由可編程序邏輯控制器控制；當(dāng)排液時(shí)，所述可編程序邏輯控制器控制相關(guān)排液管路上的氣動(dòng)閥打開進(jìn)行排液。所述氣動(dòng)閥由可編程序邏輯控制器控制，以壓縮空氣為驅(qū)動(dòng)源。本專利技術(shù)中所涉及的刻蝕條件比例是指體積比。和現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)具有以下有益效果:本專利技術(shù)通過對(duì)HF、HN03和H2O的液位傳感器采樣管口的位置調(diào)整，從而使洗凈刻蝕條件變更為HF: HNO3: H2O=1:1: 1，最終通過洗凈條件的變更來進(jìn)行洗凈生成有D0P0S/P0LY膜的石英及SIC部品，每次洗凈過程在不影響洗凈效果的前提下，可有效降低HF使用量50% (69.5L，約合人民幣為69.5*17.8=1237.1元)，每年需洗凈550次左右，可節(jié)約費(fèi)用人民幣68萬余元。可見，本專利技術(shù)可以有效提高設(shè)備使用效能、節(jié)能減排。附圖說明圖1是傳統(tǒng)的濕法洗凈裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本專利技術(shù)的濕法洗凈裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中附圖標(biāo)記說明如下:I為可編程序邏輯控制器；2為HV(手閥)，其中HV-1代表H2O進(jìn)入管路上的手閥，HV-2代表HF進(jìn)入管路上的手閥，HV-3代表HNO3進(jìn)入管路上的手閥；3為進(jìn)入管路上的AV(氣動(dòng)閥)，其中AV-1代表H2O進(jìn)入管路上的氣動(dòng)閥，AV-2代表HF進(jìn)入管路上的氣動(dòng)閥，AV-3代表HNO3進(jìn)入管路上的氣動(dòng)閥；4為HF液位傳感器采樣管路；5為HNO3液位傳感器采樣管路；6為H2O液位傳感器采樣管路；7為過濾器；8為液位傳感器；9為洗凈槽；10為排液管路上的AV(氣動(dòng)閥)，其中AV-4代表SF2系排液管路上的氣動(dòng)閥，AV-5代表F系排液管路上的氣動(dòng)閥，AV-6代表Al系排水管路上的氣動(dòng)閥；SF2系排液指排高濃度酸液；F系排液指排低濃度酸液;A1系排水指排水。具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本專利技術(shù)作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。由于傳統(tǒng)的濕法洗凈裝置原本沒有HF: HNO3: H2O = I: I: I的刻蝕條件配置，故將設(shè)備原有的刻蝕條件HF: HNO3: H2O = 0.5: 0.5: 9所涉及的液位傳感器采樣管口 LE-P7(HF)位置 300mm 保持不變；LE_P6 (HNO3)由 285mm 調(diào)節(jié)至 200_ ；LE-P4 (H2O)由270mm調(diào)節(jié)至IOOmm(此處位置指的是各液位傳感器采樣口到洗凈槽底部的距離)，見圖2 ；進(jìn)而將刻蝕條件HF: HNO3: H2O = 0.5: 0.5: 9轉(zhuǎn)變?yōu)樾碌目涛g條件HF: HNO3: H2O= 1:1: 1，從而實(shí)現(xiàn)刻蝕條件 HF: HNO3 = 2:1 到 HF: HNO3: H2O = 1:1:1 的應(yīng)用轉(zhuǎn)變。如圖2所示，本專利技術(shù)的濕法洗凈裝置，包括可編程序邏輯控制器UProgrammableLogic Controller，簡(jiǎn)稱PLC，用于控制洗凈程序以及各氣動(dòng)閥開關(guān)動(dòng)作)、液位傳感器8、HF液位傳感器采樣管路4 (用于采樣HF液位位置),HNO3液位傳感器采樣管路5 (用于采樣HNO3液位位置)、H2O液位傳感器采樣管路6 (用于采樣純水H2O液位位置)以及洗凈槽9。HF液位傳感器采樣管路4、HNO3液位傳感器采樣管路5和H2O液位傳感器采樣管路6上均設(shè)有過濾器7，過濾器7用于防止酸性環(huán)境對(duì)液位傳感器8的腐蝕，影響液位傳感器8的精度。洗凈槽9內(nèi)設(shè)有H20、HF、HNO3的進(jìn)入管路，該進(jìn)入管路上設(shè)有HV (手閥)2和AV (氣動(dòng)閥)3 ;HV(手閥)2的手柄順時(shí)針旋轉(zhuǎn)到底為關(guān)的狀態(tài),逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)到底為開的狀態(tài),HV(手閥)2是H20、HF、HNO3進(jìn)入設(shè)備的控制閥；AV(氣動(dòng)閥)3由可編程序邏輯控制器I控制，以壓縮空氣為驅(qū)動(dòng)源。液位傳感器8與可編程序邏輯控制器I連接，當(dāng)液位到達(dá)液位傳感器采樣管路的管口位置時(shí)，液位傳感器8閉合，同時(shí)給可編程序邏輯控制器I信號(hào)，可編程序邏輯控制器I控制相應(yīng)AV (氣動(dòng)閥)3關(guān)，停止該路液體的供應(yīng)。洗凈槽9底部還設(shè)有排液管路，排液管路上還設(shè)有AV (氣動(dòng)閥)10，AV (氣動(dòng)閥)10由可編程序邏輯控制器I控制，以壓縮空氣為驅(qū)動(dòng)源。當(dāng)排液時(shí)，可編程序邏輯控制器I控制相關(guān)排液管路上的AV (氣動(dòng)閥)10打開進(jìn)行排液。HF液位傳感器采樣管路4的管口到洗凈槽9底部的距離為300mm ；HNO3液位傳感器采樣管路5的管口到洗凈槽9底部的距離為200mm ；H20液位傳感器采樣管路6的管口到洗凈槽9底部的距離為100mm。本專利技術(shù)刻蝕條件HF: HNO3: H2O = I: I: I的生成方法是通過改造傳統(tǒng)的某種洗凈設(shè)備的一種原有的刻蝕條件HF: HNO3: H2O =本文檔來自技高網(wǎng)...

【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種濕法洗凈裝置，其特征在于，包括：可編程序邏輯控制器、液位傳感器、液位傳感器采樣管路和洗凈槽；所述洗凈槽內(nèi)設(shè)有H2O、HF、HNO3的進(jìn)入管路，該進(jìn)入管路上設(shè)有開關(guān)控制閥和氣動(dòng)閥，該氣動(dòng)閥由可編程序邏輯控制器控制；所述可編程序邏輯控制器與液位傳感器連接；所述液位傳感器采樣管路包括HF、HNO3和H2O液位傳感器采樣管路，所述液位傳感器采樣管路的管口位于洗凈槽內(nèi)；當(dāng)液位到達(dá)液位傳感器采樣管路的管口位置時(shí)，液位傳感器閉合，同時(shí)給可編程序邏輯控制器信號(hào)，可編程序邏輯控制器控制相應(yīng)氣動(dòng)閥關(guān)閉，停止該路液體的供應(yīng)；所述HF液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為300mm；所述HNO3液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為200mm；所述H2O液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為100mm。

【技術(shù)特征摘要】
1.一種濕法洗凈裝置，其特征在于，包括:可編程序邏輯控制器、液位傳感器、液位傳感器采樣管路和洗凈槽；所述洗凈槽內(nèi)設(shè)有H20、HF、HNO3的進(jìn)入管路，該進(jìn)入管路上設(shè)有開關(guān)控制閥和氣動(dòng)閥，該氣動(dòng)閥由可編程序邏輯控制器控制；所述可編程序邏輯控制器與液位傳感器連接；所述液位傳感器采樣管路包括HF、HNO3和H2O液位傳感器采樣管路，所述液位傳感器采樣管路的管口位于洗凈槽內(nèi)；當(dāng)液位到達(dá)液位傳感器采樣管路的管口位置時(shí)，液位傳感器閉合，同時(shí)給可編程序邏輯控制器信號(hào)，可編程序邏輯控制器控制相應(yīng)氣動(dòng)閥關(guān)閉，停止該路液體的供應(yīng)；所述HF液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為300mm ;所述HNO3液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為200mm ;所述H2O液位傳感器采樣管路的管口到洗凈槽底部的距離為100mm。2.按...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：劉立成，楊繼業(yè)，劉波，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海華虹NEC電子有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：