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本發(fā)明涉及在晶片上涂敷化學(xué)藥劑的換向設(shè)備，具體地說一種兩個(gè)單元液體供給共用一個(gè)液泵的換向倒極裝置，包括殼體、位于殼體四角上的接口、中間軸及電機(jī)，位于殼體四角上的四個(gè)接口、兩相鄰的接口之間通過膠路相連通，在四個(gè)接口中間設(shè)有中間軸，該中間軸相對(duì)...該專利屬于沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司授權(quán)不得商用。