本發(fā)明專利技術(shù)涉及在晶片上涂敷化學(xué)藥劑的換向設(shè)備，具體地說一種兩個單元液體供給共用一個液泵的換向倒極裝置，包括殼體、位于殼體四角上的接口、中間軸及電機(jī)，位于殼體四角上的四個接口、兩相鄰的接口之間通過膠路相連通，在四個接口中間設(shè)有中間軸，該中間軸相對轉(zhuǎn)動地安裝在殼體內(nèi)，中間軸的兩端分別螺紋連接有支板，每個支板的兩端均設(shè)有控制相鄰接口之間膠路開合的密封膠墊；電機(jī)安裝在殼體的底部，電機(jī)的輸出端與中間軸的底端相連，中間軸由電機(jī)驅(qū)動的轉(zhuǎn)動副通過中間軸與支板的螺紋連接轉(zhuǎn)換成支板的上下移動副。本發(fā)明專利技術(shù)可以使離心單元所配的液泵發(fā)揮最大效能，實(shí)現(xiàn)了兩個離心單元共用一個液泵，化學(xué)藥劑一進(jìn)兩出。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及在晶片上涂敷化學(xué)藥劑的換向設(shè)備，具體地說一種兩個單元液體供給共用一個液泵的換向倒極裝置。
技術(shù)介紹
目前，公知在化學(xué)藥劑涂敷工藝中，每路離心單元都自帶一個液泵；而在一臺設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中，通常的情況是一路離心單元涂敷液體時，另一路離心單元并沒有進(jìn)行涂敷工藝，而是暫時處理等待狀態(tài)，與其配套的液泵并不能充分發(fā)揮效能，大量時間處于待命狀態(tài)，嚴(yán)重浪費(fèi)資源，工作效率低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
為了克服上述液泵不能允分發(fā)揮效能的不足，本專利技術(shù)的目的在于提供一種換向倒極裝置。該換向倒極裝置可以使離心單元所配的液泵發(fā)揮最大效能，并且能夠?qū)崿F(xiàn)化學(xué)藥劑一進(jìn)兩出，物理方式快速倒極。本專利技術(shù)的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:本專利技術(shù)包括殼體、位于殼體四角上的接口、中間軸及電機(jī)，其中位于殼體四角上的四個接口、兩相鄰的接口之間通過膠路相連通，在四個接口中間設(shè)有中間軸，該中間軸相對轉(zhuǎn)動地安裝在殼體內(nèi)，所述中間軸的兩端分別螺紋連接有支板，每個支板的兩端均設(shè)有控制相鄰接口之間膠路開合的密封膠墊；所述電機(jī)安裝在殼體的底部，電機(jī)的輸出端與所述中間軸的底端相連，中間軸由電機(jī)驅(qū)動的轉(zhuǎn)動副通過中間軸與支板的螺紋連接轉(zhuǎn)換成支板的上下移動副。其中:所述四個接口圍成一個四邊形，位于中間軸兩端的兩個支板相互平行、在水平面上的投影為“十”字，兩個支板上的四個密封膠墊分別控制由四個接口圍成的四邊形四條邊上膠路的開合；所述中間軸兩端的兩個支板分別固接有連接塊，每個連接塊的兩端各設(shè)有一個密封膠墊；所述殼體內(nèi)留有供兩個支板及兩個連接塊上下升降的空間；所述位于上方支板兩端的密封膠墊朝下，位于下方支板兩端的密封膠墊朝上；所述膠路開設(shè)在殼體內(nèi)，兩相鄰接口之間的膠路上下交錯，上下兩個膠路之間通過在殼體內(nèi)開設(shè)的通孔相連通，該通孔與所述密封膠墊相對應(yīng)；兩相鄰接口之間的上下兩個膠路相互平行，位于上方的膠路的一端與其中一個接口連通，另一端位于所述通孔的上端，位于下方的膠路的一端與另一個接口連通，另一端位于所述通孔的下端；所述通孔位于密封膠墊的上方或下方；所述殼體相對兩邊的膠路相同；所述殼體為正方體，包括上閥蓋、上閥體、下閥體及下閥蓋，上閥蓋、上閥體、下閥體及下閥蓋由上至下依次設(shè)置、通過螺釘固接；在上閥蓋、上閥體及下閥體的四個角沿殼體的高度方向開有圓孔，其中任一條對角線上的兩個圓孔中間斷開、斷開處與其兩側(cè)的膠路相連通，另一條對角線上的兩個圓孔分別在中間及底部與其兩側(cè)的膠路相連通；所述上閥蓋及上閥體上的圓孔設(shè)有內(nèi)螺紋，四個接口為中空的圓柱，四個接口的兩端分別設(shè)有外螺紋，四個接口的一端分別與上閥蓋及上閥體上的圓孔螺紋連接；所述位于四角的四個接口分別為第一接口、第二接口、第三接口及第四接口，其中第一接口與第三接口之間的膠路與第二接口與第四接口之間的膠路相同，第一接口與第二接口之間的膠路與第三接口與第四接口之間的膠路相同；第一接口與第三接口之間的膠路與第二接口與第四接口之間的膠路同時接通，第一接口與第二接口之間的膠路與第三接口與第四接口之間的膠路同時接通。本專利技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為:1.本專利技術(shù)將中間軸的轉(zhuǎn)動副轉(zhuǎn)換成上下兩個支板的移動副，使四個密封膠墊交替控制四路膠路的開合，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)兩個離心單元共用一個液泵，化學(xué)藥劑一進(jìn)兩出，使離心單元所配的液泵發(fā)揮最大效能。2.本專利技術(shù)采用物理方式快速倒極，提高了工作效率。3.本專利技術(shù)可以減少設(shè)備上的一路液泵，使所配液泵發(fā)揮最大效能。4.本專利技術(shù)可以采用不同的液體，增加了本專利技術(shù)的適用范圍。5.本專利技術(shù)采用的材質(zhì)為ABS塑料，化學(xué)藥劑在倒極裝置中不與任何金屬材質(zhì)接觸，并且用物理的方式快速倒極，不采用電磁閥吸合方式，確保化學(xué)藥劑不被污染。附圖說明圖1為本專利技術(shù)的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本專利技術(shù)內(nèi)部立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本專利技術(shù)四分之一剖內(nèi)部立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本專利技術(shù)主視剖視圖；圖5為圖4的E-E剖視圖；其中:1為上閥蓋，2為上閥體，3為下閥體，4為下閥蓋，5為中間軸，6為第一支板，7為第二支板，8為電機(jī)，9為第一連接塊，10為第二連接塊，11為第一密封膠墊，12為第二密封膠墊，13為第三密封膠墊，14為第四密封膠墊，15為軸承，16為0型密封圈，17為第一膠路，18為第二膠路，19為通孔，20為第三膠路，21為第四膠路，A為第一接口，B為第二接口，C為第三接口，D為第四接口。具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對本專利技術(shù)作進(jìn)一步詳述。如圖1 5所示，本專利技術(shù)包括殼體、位于殼體四角上的接口、中間軸5及電機(jī)8，其中殼體為正方體，包括上閥蓋1、上閥體2、下閥體3及下閥蓋4，上閥蓋1、上閥體2、下閥體3及下閥蓋4由上至下依次設(shè)置、通過螺釘固接；在上閥蓋1、上閥體2及下閥體3的四個角沿殼體的高度方向開有圓孔，四個圓孔的底部由位于最下方的下閥蓋4密封，上閥蓋I及上閥體2上的圓孔設(shè)有內(nèi)螺紋，四個接口為中空的圓柱，四個接口的兩端分別設(shè)有外螺紋，四個接口的一端(下端)分別與上閥蓋I及上閥體2上的圓孔螺紋連接，另一端(上端)與液泵相連。位于正方形殼體四個角上的四個接口分別為第一接口 A、第二接口 B、第三接口 C及第四接口 D，兩相鄰的接口之間通過膠路相連通，即第一接口 A通過膠路分別與其相鄰的第二接口 B和第三接口 C連通，第四接口 D通過膠路分別與其相鄰的第二接口 B和第三接口 C連通。膠路開設(shè)在殼體內(nèi)的四條邊上，兩相鄰接口之間的膠路上下交錯且相互平行，上下兩個膠路之間通過在殼體內(nèi)開設(shè)的通孔20相連通；其中第一接口 A與第三接口 C之間的膠路與第二接口 B與第四接口 D之間的膠路相同，第一接口 A與第二接口 B之間的膠路與第三接口 C與第四接口 D之間的膠路相同。第一接口 A和第四接口 D為正方形殼體一條對角線的兩端，第二接口 B和第三接口 C為正方形殼體另一條對角線的兩端。第一接口A與第四接口 D的圓孔中間斷開、斷開處與其兩側(cè)的膠路相連通，第三接口 C與第四接口 D的圓孔分別在中間及底部與其兩側(cè)的膠路相連通。第一接口 A與第三接口 C之間的膠路為在第一接口 A圓孔中間斷開處的一側(cè)連通位于下方的第二膠路18的一端，位于下方的第二膠路18的另一端則位于該側(cè)通孔19的下方；位于上方的第一膠路17的一端與第三接口 C圓孔的中間相連通，另一端則位于該側(cè)通孔19的上方。第二接口 B與第四接口 D之間的膠路與第一接口 A與第三接口 C之間的膠路相同，為在第二接口 B圓孔中間連通于位于上方的第一膠路17的一端，位于上方的第一膠路17的另一端則位于該側(cè)通孔19的上方；位于下方的第二膠路18的一端與第四接口 D圓孔中間斷開處的一側(cè)相連通，另一端則位于該側(cè)通孔19的下方。第一接口 A與第二接口 B之間的膠路為在第一接口 A圓孔中間斷開處的另一側(cè)連通位于上方的第三膠路20的一端，位于上方的第三膠路20的另一端則位于該側(cè)通孔19的上方；位于下方的第四膠路21的一端與第二接口 B圓孔的下端連通，第四膠路21的另一端則位于該側(cè)通孔19的下方。第三接口 C與第四接口 D之間的膠路與第一接口 A與第二接口 B之間的膠路相同，為在第三接口 C的底部與位于下方的第四膠路21的一端相連通，位于下方的第四膠路21的另一端位于該側(cè)通孔19的下方；位于上方的第三膠路20的一端與第四接口 D圓孔圓孔中間斷開處的另一側(cè)相連通，位于上方的第三膠路2本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種換向倒極裝置，其特征在于：包括殼體、位于殼體四角上的接口、中間軸(5)及電機(jī)(8)，其中位于殼體四角上的四個接口、兩相鄰的接口之間通過膠路相連通，在四個接口中間設(shè)有中間軸(5)，該中間軸(5)相對轉(zhuǎn)動地安裝在殼體內(nèi)，所述中間軸(5)的兩端分別螺紋連接有支板，每個支板的兩端均設(shè)有控制相鄰接口之間膠路開合的密封膠墊；所述電機(jī)(8)安裝在殼體的底部，電機(jī)(8)的輸出端與所述中間軸(5)的底端相連，中間軸(5)由電機(jī)(8)驅(qū)動的轉(zhuǎn)動副通過中間軸(5)與支板的螺紋連接轉(zhuǎn)換成支板的上下移動副。
【技術(shù)特征摘要】
1.一種換向倒極裝置，其特征在于:包括殼體、位于殼體四角上的接口、中間軸(5)及電機(jī)(8)，其中位于殼體四角上的四個接口、兩相鄰的接口之間通過膠路相連通，在四個接口中間設(shè)有中間軸(5)，該中間軸(5)相對轉(zhuǎn)動地安裝在殼體內(nèi)，所述中間軸(5)的兩端分別螺紋連接有支板，每個支板的兩端均設(shè)有控制相鄰接口之間膠路開合的密封膠墊；所述電機(jī)⑶安裝在殼體的底部，電機(jī)⑶的輸出端與所述中間軸(5)的底端相連，中間軸(5)由電機(jī)(8)驅(qū)動的轉(zhuǎn)動副通過中間軸(5)與支板的螺紋連接轉(zhuǎn)換成支板的上下移動副。2.按權(quán)利要求1所述的換向倒極裝置，其特征在于:所述四個接口圍成一個四邊形，位于中間軸(5)兩端的兩個支板相互平行、在水平面上的投影為“十”字，兩個支板上的四個密封膠墊分別控制由四個接口圍成的四邊形四條邊上膠路的開合。3.按權(quán)利要求1或2所述的換向倒極裝置，其特征在于:所述中間軸(5)兩端的兩個支板分別固接有連接塊，每個連接塊的兩端各設(shè)有一個密封膠墊；所述殼體內(nèi)留有供兩個支板及兩個連接塊上下升降的空間。4.按權(quán)利要求3所述的換向倒極裝置，其特征在于:所述位于上方支板兩端的密封膠墊朝下，位于下方支板兩端的密封膠墊朝上。5.按權(quán)利要求1或2所述的換向倒極裝置，其特征在于:所述膠路開設(shè)在殼體內(nèi)，兩相鄰接口之間的膠路上下交錯，上下兩個膠路之間通過在殼體內(nèi)開設(shè)的通孔(19)相連通，該通孔(19)與所述密封膠墊相對應(yīng)。6.按權(quán)利要求5所述的換向倒極裝置，其特征在于:兩相鄰接口之間的上下兩個膠路相互平行，位于上方的膠路的一端與其中一個接口連通，另...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：童宇波，
申請(專利權(quán))人：沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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