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本發(fā)明提供了一種微波激發(fā)CVD鍍膜設(shè)備，包括殼體及具有微波發(fā)射喇叭的微波發(fā)生器，該殼體具有密封的CVD腔體，CVD腔體內(nèi)安裝有用于噴出工作氣體的噴氣裝置，待鍍膜材料位于噴氣裝置的噴嘴上方且其需鍍膜的一面與之相對(duì)；微波發(fā)生器的本體安裝于CVD...該專利屬于王奉瑾所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)王奉瑾授權(quán)不得商用。