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本發明涉及半導體生產設備領域，尤其涉及采用光加熱的PVD設備。本發明提供采用光加熱的PVD設備，通過設置與傳輸帶配合的滾筒組，達到殼體與傳輸帶之間動態的密封效果；同時，在所述下腔內設置移動靶舟，通過移動靶舟在所述下腔體的移動，實現對放置于所...
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