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    下載一種去除多晶硅中金屬雜質的方法以及裝置的技術資料

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    一種去除多晶硅中金屬雜質的方法以及裝置。一種去除多晶硅中金屬雜質的方法,包括如下步驟:(1)將原料硅在石墨坩堝中熔化;(2)將石墨板放置于熔融硅液的表面上,石墨板與外界直流電壓的負極相接,石墨坩堝與外界直流電壓的正極相接,所施加的直流電壓為...
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