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一種帶反饋控制的激光刻蝕機，它由激光器系統(tǒng)（１）、擴束鏡組（２）、Ｘ－Ｙ振鏡頭（３）、透鏡（４）、計算機控制系統(tǒng)（５）組成，其特征在于，在激光器系統(tǒng)（１）中采用風冷式全固態(tài)激光器；在Ｘ振鏡頭和Ｙ振鏡頭的伺服電機（６）和（８）的軸上分別置有角...該專利屬于上海市激光技術研究所所有，僅供學習研究參考，未經過上海市激光技術研究所授權不得商用。