一種帶反饋控制的激光刻蝕機(jī)，它由激光器系統(tǒng)（１）、擴(kuò)束鏡組（２）、Ｘ－Ｙ振鏡頭（３）、透鏡（４）、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（５）組成，其特征在于，在激光器系統(tǒng)（１）中采用風(fēng)冷式全固態(tài)激光器；在Ｘ振鏡頭和Ｙ振鏡頭的伺服電機(jī)（６）和（８）的軸上分別置有角位移傳感器（１０、１１），由角位移傳感器測(cè)得振鏡頭偏轉(zhuǎn)的實(shí)際角位移和計(jì)算機(jī)設(shè)定的角位移相比較后再控制Ｘ－Ｙ振鏡頭的掃描，以達(dá)到刻蝕位置精確控制。（*該技術(shù)在2014年保護(hù)過(guò)期，可自由使用*）
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及一種可用于亞表面刻蝕的激光刻蝕機(jī)，特別涉及一種由計(jì)算機(jī)控制并且有反饋的振鏡式激光刻蝕機(jī)。
技術(shù)介紹
激光打標(biāo)是一種非常重要的激光加工技術(shù)，通過(guò)激光打標(biāo)所形成的標(biāo)記具有永久性的特點(diǎn)。對(duì)金屬和非金屬不同形狀物體實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)式打標(biāo)。已有的激光打標(biāo)方式有好幾種，如專(zhuān)利ZL92200956.2中公開(kāi)的一種激光打標(biāo)機(jī)。該機(jī)采用一次反射鏡在X-Y伺服掃描機(jī)構(gòu)的帶動(dòng)下運(yùn)動(dòng)，激光束在物體表面掃描形成點(diǎn)陣式標(biāo)志。專(zhuān)利ZL9021268.3中公開(kāi)了一種激光蝕刻機(jī)，它在物體表面覆蓋了具有特定圖形的遮光掩膜。激光束通過(guò)它的通光部分對(duì)物體表面進(jìn)行蝕刻加工。專(zhuān)利ZL96110257.8中公開(kāi)了一種激光防偽打標(biāo)機(jī).該機(jī)在前兩種專(zhuān)利技術(shù)基礎(chǔ)上將掃描式和掩膜式結(jié)合于一體的打標(biāo)機(jī).專(zhuān)利ZL02228748.5中公開(kāi)了一種高速激光打標(biāo)機(jī)，由計(jì)算機(jī)控制的兩維伺服電機(jī)帶動(dòng)兩個(gè)反射鏡轉(zhuǎn)動(dòng)，使進(jìn)入振鏡頭的激光束經(jīng)過(guò)兩次反射，通過(guò)透鏡，形成光斑在物體表面內(nèi)作兩維高速移動(dòng)。上述的激光刻蝕機(jī)是使激光打在金屬零件、塑料制品的表面上，刻蝕產(chǎn)品的名稱(chēng)、批號(hào)、商標(biāo)、條形碼等，而對(duì)于需在ID(身份證)卡上刻繪人像、指紋、持卡人身份信息，如姓名、出生年月、居住地等時(shí)，要求激光刻蝕機(jī)具有更高的分辨率，而現(xiàn)有的激光刻蝕機(jī)的激光器采用燈泵或半導(dǎo)體側(cè)泵，使射出的激光束發(fā)射角大，聚焦性能差，得到的光斑大，使刻蝕分辨率低，現(xiàn)有激光刻蝕機(jī)中所用的水冷系統(tǒng)，刻蝕機(jī)體積龐大，不適宜于在卡證管理系統(tǒng)中應(yīng)用；現(xiàn)有激光刻蝕機(jī)的另一缺點(diǎn)是，X-Y兩維振鏡頭由計(jì)算機(jī)控制掃描到所需刻蝕位置，但是否是給定的位置卻無(wú)反饋信息，使刻蝕的精度不高。專(zhuān)利
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本技術(shù)的目的是為了克服現(xiàn)有激光刻蝕機(jī)的缺點(diǎn)，提供一種體積小，具有刻蝕位置反饋的激光刻蝕機(jī)。本技術(shù)的技術(shù)方案是，一種帶反饋控制的激光刻蝕機(jī)，它由激光器系統(tǒng)、擴(kuò)束鏡組、X-Y振鏡頭、透鏡、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)組成，其特點(diǎn)是，在激光器系統(tǒng)中采用風(fēng)冷全固態(tài)激光器；在X振鏡頭和Y振鏡頭的伺服電機(jī)的軸上分別置有角位移傳感器，由角位移傳感器測(cè)得振鏡頭偏轉(zhuǎn)的實(shí)際角位移和計(jì)算機(jī)設(shè)定的角位移相比較后再控制X-Y振鏡頭的掃描，以達(dá)到刻蝕位置精確控制。由于激光器系統(tǒng)中采用風(fēng)冷全固態(tài)激光器，使刻蝕機(jī)體積較小，在X振鏡頭和Y振鏡頭的伺服電機(jī)的軸上分別置有角位移傳感器，測(cè)得振鏡頭偏轉(zhuǎn)的實(shí)際角位移和計(jì)算機(jī)設(shè)定的角位移相比較后反饋控制X-Y振鏡頭的掃描，使刻蝕位置精確。附圖說(shuō)明圖1為本技術(shù)控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖；圖2為振鏡頭結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式由圖1、圖2所示，一種帶反饋控制的激光刻蝕機(jī)，它由激光器系統(tǒng)1、擴(kuò)束鏡組2、X-Y振鏡頭3、透鏡4、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)5組成，其特點(diǎn)是，在激光器系統(tǒng)1中采用風(fēng)冷式全固態(tài)激光器；在X振鏡頭和Y振鏡頭的伺服電機(jī)6和8的軸上分別置有角位移傳感器10、11，由角位移傳感器測(cè)得振鏡頭的反射鏡7、9偏轉(zhuǎn)的實(shí)際角位移和計(jì)算機(jī)設(shè)定的角位移相比較后再控制X-Y振鏡頭的掃描，以達(dá)到刻蝕位置精確控制。本實(shí)施例中的角位移傳感器采用電容式傳感器，風(fēng)冷式全固態(tài)激光器采用IPG光纖激光器。權(quán)利要求1.一種帶反饋控制的激光刻蝕機(jī)，它由激光器系統(tǒng)(1)、擴(kuò)束鏡組(2)、X-Y振鏡頭(3)、透鏡(4)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)(5)組成，其特征在于，在激光器系統(tǒng)(1)中采用風(fēng)冷式全固態(tài)激光器；在X振鏡頭和Y振鏡頭的伺服電機(jī)(6)和(8)的軸上分別置有角位移傳感器(10、11)，由角位移傳感器測(cè)得振鏡頭偏轉(zhuǎn)的實(shí)際角位移和計(jì)算機(jī)設(shè)定的角位移相比較后再控制X-Y振鏡頭的掃描，以達(dá)到刻蝕位置精確控制。專(zhuān)利摘要本技術(shù)公開(kāi)了一種帶反饋控制的激光刻蝕機(jī)，它由激光器系統(tǒng)、擴(kuò)束鏡組、X－Y振鏡頭、透鏡、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)組成，其特點(diǎn)是，在激光器系統(tǒng)中采用風(fēng)冷全固態(tài)激光器；在X振鏡頭和Y振鏡頭的伺服電機(jī)的軸上分別置有角位移傳感器，由角位移傳感器測(cè)得振鏡頭偏轉(zhuǎn)的實(shí)際角位移和計(jì)算機(jī)設(shè)定的角位移相比較后再控制X－Y振鏡頭的掃描，以達(dá)到刻蝕位置精確控制。由于激光器系統(tǒng)中采用風(fēng)冷全固態(tài)激光器，使刻蝕機(jī)體積較小，在X振鏡頭和Y振鏡頭的伺服電機(jī)的軸上分別置有角位移傳感器，測(cè)得振鏡頭偏轉(zhuǎn)的實(shí)際角位移和計(jì)算機(jī)設(shè)定的角位移相比較后反饋控制X－Y振鏡頭的掃描，使刻蝕位置精確。文檔編號(hào)B23K26/04GK2776618SQ20042010998公開(kāi)日2006年5月3日 申請(qǐng)日期2004年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月10日專(zhuān)利技術(shù)者王又良, 陳益民, 張偉, 郁德明 申請(qǐng)人:上海市激光技術(shù)研究所本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
【技術(shù)特征摘要】
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王又良，陳益民，張偉，郁德明，
申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人：上海市激光技術(shù)研究所，
類(lèi)型：實(shí)用新型
國(guó)別省市：
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