溫馨提示：您尚未登錄，請點 登陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。
本實用新型涉及一種新型混合節(jié)能式半導體制程用制冷機，包括熱交換器，所述熱交換器包括熱交換器一和熱交換器二，熱交換器一和熱交換器二分別連接有蒸發(fā)器一和蒸發(fā)器二，蒸發(fā)器一和蒸發(fā)器二連接有兩臺的壓縮機，兩臺壓縮機連接有冷凝器，冷凝器分別連接有電子...該專利屬于阮毅所有，僅供學習研究參考，未經(jīng)過阮毅授權(quán)不得商用。