【技術實現步驟摘要】
本技術涉及一種新型混合節能式半導體制程用制冷機。
技術介紹
目前，隨著社會的發展，制冷機的應用涉及到各個領域，現有的制冷機采用實時的預熱器控制，會增加很大的電能消耗，而且其溫度控制算法，針對外部的特殊情況應對能力不足。
技術實現思路
本技術的目的是為半導體生產線中DRY ETCH (干蝕刻)，CVD (化學氣相沉積)制程提供一種混合式制冷機，克服現有產品中能量消耗大，系統控制不完善的不足。本技術的目的是通過以下技術方案來實現一種新型混合節能式半導體制程用制冷機，包括熱交換器，所述熱交換器包括熱交換器一和熱交換器二，熱交換器一和熱交換器二分別連接有蒸發器一和蒸發器二，蒸發器一和蒸發器二均連接有儲水罐，儲水罐的出口處設有冷卻劑泵，蒸發器一和蒸發器二連接有兩臺相配合的壓縮機，兩臺壓縮機連接有冷凝器，冷凝器分別連接有電子膨脹閥門和脈寬調制閥門，電子膨脹閥門連接蒸發器一，脈寬調制閥門連接蒸發器二。本技術的有益效果為本技術提供的一種新型混合節能式半導體制程用制冷機，能夠根據制程所需功率來控制實時冷媒流量，同時可以控制壓縮機的運行臺數及其運行功率，由于制冷機在投入制程后不間斷24小時運行，這種混合式的方法可以大幅度地降低能量的消耗，節能環保，同時能夠實現長時間無故障運行，確保在高溫狀態下的安全運行。附圖說明下面根據附圖對本技術作進一步詳細說明。圖1是本技術實施例所述的一種新型混合節能式半導體制程用制冷機的工作原理圖。圖中1、熱交換器一 ；2、熱交換器二 ；3、蒸發器一 ；4、蒸發器二 ；5、儲水罐；6、冷卻劑泵；7、壓縮機；8、電子膨脹閥門；9、脈寬調制閥門；10、冷凝器。具...
【技術保護點】
一種新型混合節能式半導體制程用制冷機，包括熱交換器，其特征在于：所述熱交換器包括熱交換器一（1）和熱交換器二（2），熱交換器一（1）和熱交換器二（2）分別連接有蒸發器一（3）和蒸發器二（4），蒸發器一（3）和蒸發器二（4）均連接有儲水罐（5），儲水罐（5）的出口處設有冷卻劑泵（6），蒸發器一（3）和蒸發器二（4）連接有兩臺相配合的壓縮機（7），兩臺壓縮機（7）連接有冷凝器（10），冷凝器（10）分別連接有電子膨脹閥門（8）和脈寬調制閥門（9），電子膨脹閥門（8）連接蒸發器一（3），脈寬調制閥門（9）連接蒸發器二（4）。
【技術特征摘要】
1.一種新型混合節能式半導體制程用制冷機，包括熱交換器，其特征在于所述熱交換器包括熱交換器一(I)和熱交換器二( 2 )，熱交換器一(I)和熱交換器二( 2 )分別連接有蒸發器一(3)和蒸發器二(4)，蒸發器一(3)和蒸發器二(4)均連接有儲水罐(5)，儲水罐(5)...
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