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本發(fā)明屬于PECVD設(shè)備表面電場增強技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是一種用于大型板式PECVD設(shè)備的表面電場增強裝置。包括工藝腔和設(shè)置于工藝腔內(nèi)的電極基板、碳板、傳輸滾輪及絕緣銷，其中電極基板通過絕緣銷固接于工藝腔的內(nèi)壁上，所述碳板設(shè)置于電極基板的下方...該專利屬于中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司授權(quán)不得商用。