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本申請的發明涉及一種膜形成裝置及膜形成方法。其目的在于縮小占地面積并且縮短處理線的長度、且實現裝置成本的降低及生產率的提升。本發明的膜形成裝置包括：涂布處理機構(6)，沿水平方向搬送被處理基板(G)，并且從具有在所述基板的寬度方向上較長的噴...
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