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本實用新型公開了一種具有熱解氮化硼保護層的加熱器，所述加熱器本體的表面覆有熱解氮化硼保護層。所述加熱器本體呈迂回的折線形。所述熱解氮化硼保護層的厚度為0.01-3mm。所述熱解氮化硼保護層通過化學氣相沉積法覆于加熱器本體的表面。所述加熱器本...該專利屬于北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司授權不得商用。
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