【技術實現步驟摘要】
本技術涉及加熱器
，具體地說是一種具有熱解氮化硼保護層的加熱器。
技術介紹
隨著科技的發展，對材料質量，特別是純度的要求也進一步提高。因此在一些對純凈度要求較高的高溫反應或處理過程中都是在一定的密閉空間內完成。但用于加熱的加熱器一般都在同一密閉空間內，所以就要求加熱器在加熱過程中不能有任何物質揮發出來，以免揮發出的物質混入反應物或被處理的物質中形成雜質，影響材料的純度及質量。為此，人們選用性質穩定的材料來制造加熱器，使其在高溫條件下也不易揮發。但現有的加熱器仍存在諸多問題。如制造成本高，或在高溫下難免有物質揮發出來從而產生壞的影響。有鑒于上述現有的加熱器存在的諸多問題，本技術的設計人依靠多年的工作經驗和豐富的專業知識積極加以研究和創新，最終研發出一種具有熱解氮化硼保護層的加熱器，有效控制物質揮發。
技術實現思路
為了解決現有技術中存在的上述問題，本技術提供了一種具有熱解氮化硼保護層的加熱器，有效控制物質揮發。為了解決上述技術問題，本技術采用了如下技術方案具有熱解氮化硼保護層的加熱器，包括加熱器本體，所述加熱器本體的表面覆有熱解氮化硼保護層。進一步，所述加熱器本體呈迂回的折線形。進一步，所述熱解氮化硼保護層的厚度為O. 01_3mm。進一步，所述熱解氮化硼保護層通過化學氣相沉積法覆于加熱器本體的表面。進一步，所述加熱器本體為石墨加熱器或陶瓷加熱器。與現有技術相比，本技術的有益效果在于本技術的具有熱解氮化硼保護層的加熱器在表面覆有熱解氮化硼保護層，由于熱解氮化硼的性質在高溫條件也極其穩定，所以在蒸發過程中不會揮發而影響蒸發所得材料的純度。另外，熱解氮化硼結構致...
【技術保護點】
具有熱解氮化硼保護層的加熱器，包括加熱器本體，其特征在于，所述加熱器本體的表面覆有熱解氮化硼保護層。
【技術特征摘要】
1.具有熱解氮化硼保護層的加熱器，包括加熱器本體，其特征在于，所述加熱器本體的表面覆有熱解氮化硼保護層。2.根據權利要求1所述的具有熱解氮化硼保護層的加熱器，其特征在于，所述加熱器本體呈迂回的折線形。3.根據權...
【專利技術屬性】
技術研發人員：何軍舫，王軍勇，
申請(專利權)人：北京博宇半導體工藝器皿技術有限公司，
類型：實用新型
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。