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本實用新型涉及晶體硅太陽能電池生產領域，具體來說涉及一種晶體硅太陽能電池等離子刻蝕工藝中等離子刻蝕機反應室，反應室本體底部設有旋轉平臺，采用高強度硬鋁材料焊接而成的反應室本體一側設有源部件接口；所述單相低速電機的輸出軸與旋轉平臺的旋轉軸連接...該專利屬于湖南紅太陽光電科技有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過湖南紅太陽光電科技有限公司授權不得商用。
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本實用新型涉及晶體硅太陽能電池生產領域，具體來說涉及一種晶體硅太陽能電池等離子刻蝕工藝中等離子刻蝕機反應室，反應室本體底部設有旋轉平臺，采用高強度硬鋁材料焊接而成的反應室本體一側設有源部件接口；所述單相低速電機的輸出軸與旋轉平臺的旋轉軸連接...