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本實用新型涉及半導體制造領域，尤其涉及一種注入機束流引出電極水平校準系統，通過在離子源反應腔上設置的距離感應件，以感應位于其前方束流引出電極的水平度，若該束流引出電極傾斜時，則通過邏輯運算板和電機控制板控制束流引出電極恢復水平位置，進而避免...
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