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本發明涉及異物檢查裝置及半導體制造裝置。根據實施方式，異物檢查裝置具備：檢測頭，其具有基底檢查部及對基底檢查部進行支持的支持部；控制部，其具有基底數據存儲部、檢查控制部及異物存在判定部。基底數據存儲部存儲包括表示布線基板或布線基板的最上層的...
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