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本發(fā)明公開了一種微結(jié)構(gòu)材料機(jī)械性能退化檢測方法,包括以下步驟,保持環(huán)境溫度不變,確定固定電極與移動(dòng)電極之間的閉合電壓;選取直流偏置電壓,使得直流偏置電壓小于閉合電壓,并將該直流偏置電壓施加于固定電極與移動(dòng)電極之間,待移動(dòng)電極在靜電力的作用下...該專利屬于工業(yè)和信息化部電子第五研究所所有,僅供學(xué)習(xí)研究參考,未經(jīng)過工業(yè)和信息化部電子第五研究所授權(quán)不得商用。