【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及微結構材料檢測領域，特別是涉及一種。
技術介紹
目前來講，由于疲勞或者殘余應力改變微結構材料的楊氏模量，引起器件的諧振頻率變化。故對于微結構材料的頻率特性的測試，通常采用頻率掃描的方法。但微結構材料的諧振頻率、品質因數可能會很高，如果采用頻率掃描的方法進行測試，就要求以很小的頻率掃描步進、較寬的頻率掃描范圍對加速度計進行穩態掃描。從測量精度上講，頻率掃描步長越小、穩態時間越長，測量精度就越高；而從測量效率上講，則恰恰相反，因而這種方法很難同時滿足測量精度和測量效率兩方面的要求。
技術實現思路
基于此，有必要針對現有技術缺陷問題，提供一種測量精度高、測量效率高的。其技術方案如下。一種，包括以下步驟，保持環境溫度不變，確定固定電極與移動電極之間的閉合電壓；選取直流偏置電壓，使得直流偏置電壓小于閉合電壓，并將該直流偏置電壓施加于固定電極與移動電極之間，待移動電極在靜電力的作用下達到平衡后，監控測量移動電極在平面內的運動位移。進一步地，還包括以下步驟，在微結構材料經受振動、沖擊或進行循環運動后，監控測量移動電極在平面內的運動位移；重復上述步驟，比較移動電極在平面內的運動位移可獲得微結構材料的疲勞狀態或殘余應力的變化信息。進一步地，閉合電壓的測量步驟如下，在移動電極與固定電極之間進行電壓掃描，同時檢測移動電極與固定電極之間的電流，當電流出現劇烈增加時，則對應的電壓為閉合電壓。進一步地，閉合電壓為Vp
【技術保護點】
一種微結構材料機械性能退化檢測方法，其特征在于，包括以下步驟，保持環境溫度不變，確定固定電極與移動電極之間的閉合電壓；選取直流偏置電壓，使得直流偏置電壓小于閉合電壓，并將該直流偏置電壓施加于固定電極與移動電極之間，待移動電極在靜電力的作用下達到平衡后，監控測量移動電極在平面內的運動位移。
【技術特征摘要】
1.一種微結構材料機械性能退化檢測方法，其特征在于，包括以下步驟， 保持環境溫度不變，確定固定電極與移動電極之間的閉合電壓； 選取直流偏置電壓，使得直流偏置電壓小于閉合電壓，并將該直流偏置電壓施加于固定電極與移動電極之間，待移動電極在靜電力的作用下達到平衡后，監控測量移動電極在平面內的運動位移。2.根據權利要求1所述的微結構材料機械性能退化檢測方法，其特征在于，還包括以下步驟， 在微結構材料經受振動、沖擊或進行循環運動后，監控測量移動電極在平面內的運動位移； 重復上述步驟，比較移動電極在平面內的運動位移可獲得微結構材料的疲勞...
【專利技術屬性】
技術研發人員：黃欽文，
申請(專利權)人：工業和信息化部電子第五研究所，
類型：發明
國別省市：
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