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二維位移測量裝置，涉及一種基于微光學元件的二維位移測量裝置，解決現有二維位移測量中，需要兩套獨立測量系統，導致體積較大的問題，包括：激光器，擴束鏡，反射鏡，半反半透鏡，二維測量光柵，二維位移平臺，聚焦透鏡和二維面陣探測器。激光器發出的激光通...該專利屬于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所所有，僅供學習研究參考，未經過中國科學院長春光學精密機械與物理研究所授權不得商用。
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二維位移測量裝置，涉及一種基于微光學元件的二維位移測量裝置，解決現有二維位移測量中，需要兩套獨立測量系統，導致體積較大的問題，包括：激光器，擴束鏡，反射鏡，半反半透鏡，二維測量光柵，二維位移平臺，聚焦透鏡和二維面陣探測器。激光器發出的激光通...