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本實用新型公開了一種多晶硅片脫膠工裝，包括框架，所述框架內貼著框架前后框設有晶托架，所述晶托架的一端上部設有晶托的定位裝置，與晶托架平行、在晶托架的下方依次設有兩根夾桿、兩根托架，所述晶托架、夾桿、托架的兩端連接于框架兩端框。用本實用新型進...
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