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本發明公開了一種用以改進光學鄰近模擬的方法，其包含下列步驟：首先，判定多個曝光數據；提供對應所述曝光數據且從多個原始模擬參數中產生的一原始模擬結果。之后，檢驗來自所述原始模擬結果與所述曝光結果的原始誤差值來判定其是否位于一預定范圍內。接下來...
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