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本發明公開了一種測量和表征MOS器件失配特性的系統及方法，用于測量和表征MOS器件陣列中各尺寸MOS器件的失配特性。所述系統包括MOS器件陣列模塊，地址模塊、測試模塊、計算轉換模塊、控制模塊等，可計算得到MOS器件陣列中相同尺寸的MOS器件...該專利屬于上海集成電路研發中心有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海集成電路研發中心有限公司授權不得商用。
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