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本發(fā)明公開了一種ZrVN納米復(fù)合膜及其制備方法，采用雙靶射頻反應(yīng)濺射法以不銹鋼為基底層制備得到，ZrVN納米復(fù)合膜厚度為1～3微米，V≤25.8at.％時(shí)，ZrVN納米復(fù)合膜的硬度≥29GPa，當(dāng)V≥37.4at.％時(shí)，ZrVN納米復(fù)合膜的...該專利屬于江蘇科技大學(xué)所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過江蘇科技大學(xué)授權(quán)不得商用。