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本發(fā)明屬于用物理冶金技術(shù)提純技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種電子束熔煉提純多晶硅的方法及設(shè)備，在真空下電子束熔煉高磷硅料得到低磷硅熔體，將低磷硅熔體倒入凝固坩堝中凝固；重復(fù)上述裝料、熔煉提純和傾倒的工序，直到凝固坩堝裝滿；將另一個(gè)空的凝固坩堝旋轉(zhuǎn)至硅...該專利屬于青島隆盛晶硅科技有限公司所有，僅供學(xué)習(xí)研究參考，未經(jīng)過(guò)青島隆盛晶硅科技有限公司授權(quán)不得商用。