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一種直拉單晶法的冷卻工藝，即在冷卻時，停止向爐體內通入冷卻氣體，與此同時，關閉真空泵，這樣，就形成了一個密閉的空間，爐體內的氣體作為介質就可以把更多的熱傳給爐壁流動的水，冷卻效率更高。本發明在保證直拉單晶硅棒質量、成晶率以及生產周期的前提下...
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