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本發明公開了一種新型平板式PECVD氣路接孔結構，特氣氣孔的輸出端連通有新型特氣孔接頭，新型特氣孔接頭具有頂端封閉的管體，在管體的側壁上開設有多個側孔，每個側孔的輸出端均連通有側管，每個側管的輸出方向與特氣氣孔的輸出方向相同。本發明提供的新...
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