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本發明涉及單晶硅晶圓片的包裝工藝，尤其涉及一種提高單晶硅晶圓拋光片保質期的包裝工藝。本工藝將熱塑包裝機設定真空度-5Kpa；設定包裝的加熱溫度為140℃；設定包裝的冷卻溫度為70℃；設定冷卻時間為3s；其步驟是：一、將潔凈的拋光片放入片盒內...
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