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    下載準垂直功率MOSFET及其形成方法的技術資料

    文檔序號:8388002

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    MOSFET包括半導體襯底,具有:頂面;第一導電類型的體區,位于所述半導體襯底中;以及雙擴散區DDD區,具有低于體區的底面的頂面。DDD區為第二導電類型,第二導電類型與第一導電類型相反。MOSFET進一步包括:柵極氧化物,和通過柵極氧化物與...
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