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本發明涉及一種靜態同步掃描獲取硅片位置信息的系統，包括裝硅片的片盒、承載工作臺，片盒置于承載工作臺上，該系統還包括位置數據獲取模塊、設置在片盒一側的中心線上的光發射陣列、相對于光發射陣列對稱地設置在片盒另一側的兩個線陣CCD接收列，位置數據...該專利屬于上海集成電路研發中心有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過上海集成電路研發中心有限公司授權不得商用。
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本發明涉及一種靜態同步掃描獲取硅片位置信息的系統，包括裝硅片的片盒、承載工作臺，片盒置于承載工作臺上，該系統還包括位置數據獲取模塊、設置在片盒一側的中心線上的光發射陣列、相對于光發射陣列對稱地設置在片盒另一側的兩個線陣CCD接收列，位置數據...