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本發明公開了一種用于離子注入機的束流均勻性檢測的裝置。一種離子注入機可以產生寬帶束或扁狀帶束，為使其正常工作發明一種檢測束流均勻性裝置。該裝置主要包括：束流收集面板(1)、齒條(2)、電機固定塊(3)、齒輪(4)等。該裝置特征在于，束流收集...該專利屬于北京中科信電子裝備有限公司所有，僅供學習研究參考，未經過北京中科信電子裝備有限公司授權不得商用。
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