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    下載可補償電容偏移的微機電電路及其方法的技術資料

    文檔序號:8386400

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    本發明公開了一種可補償電容偏移的微機電電路及其方法。該微機電電路包含微機電差動電容、讀取電路、控制電路及補償電路。該微機電差動電容包含第一電容與第二電容;該讀取電路是耦接于該微機電差動電容,用以讀取該第一電容與該第二電容之間在零G情況時的差...
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