本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路及其方法。該微機(jī)電電路包含微機(jī)電差動電容、讀取電路、控制電路及補(bǔ)償電路。該微機(jī)電差動電容包含第一電容與第二電容；該讀取電路是耦接于該微機(jī)電差動電容，用以讀取該第一電容與該第二電容之間在零G情況時(shí)的差值，并根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號；該控制電路是耦接于該讀取電路，用以接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；該補(bǔ)償電路是耦接于該控制電路，用以根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。由于本發(fā)明專利技術(shù)可利用該補(bǔ)償電路補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容與該讀取電路的制程變異所造成的電容變異，所以本發(fā)明專利技術(shù)可改善該讀取電路因?yàn)樵撾娙葑儺愃斐傻牧鉍偏移，而產(chǎn)生錯誤的輸出信號。
【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)是有關(guān)于一種微機(jī)電電路，尤指一種通過補(bǔ)償電路補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路。
技術(shù)介紹
在現(xiàn)有技術(shù)中，因?yàn)榧铀俣扔?jì)內(nèi)的微機(jī)電差動電容與讀取電路的制程變異所造成的電容變異，所以加速度計(jì)具有零G偏移，導(dǎo)致感應(yīng)器因具有零G偏移的加速度計(jì)，產(chǎn)生錯誤的感測結(jié)果。由于加速度計(jì)的設(shè)計(jì)者無法避免加速度計(jì)具有零G偏移，因此，如何設(shè)計(jì)一個不受微機(jī)電差動電容與讀取電路的制程變異影響的加速度計(jì)，成為加速度計(jì)的設(shè)計(jì)者的一個 重要課題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
本專利技術(shù)的一實(shí)施例提供一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路。該微機(jī)電電路包含微機(jī)電差動電容、讀取電路、控制電路及補(bǔ)償電路。該微機(jī)電差動電容包含第一電容與第二電容；該讀取電路是耦接于該微機(jī)電差動電容，用以讀取該第一電容與該第二電容之間在零G情況時(shí)的差值，并根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號；該控制電路是耦接于該讀取電路，用以接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；該補(bǔ)償電路是耦接于該控制電路，用以根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。本專利技術(shù)的還一實(shí)施例提供一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法。該方法包含讀取微機(jī)電差動電容中的第一電容與第二電容之間在零G情況時(shí)的差值；根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號；接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。本專利技術(shù)提供一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路。該微機(jī)電電路是利用讀取電路讀取第一電容與第二電容之間在零G情況時(shí)的差值，以及產(chǎn)生輸出信號。然后，控制電路可根據(jù)查閱表及該輸出信號，產(chǎn)生控制信號。而補(bǔ)償電路可根據(jù)該控制信號，以補(bǔ)償微機(jī)電差動電容。另外，該微機(jī)電差動電容還可通過第一耦接開關(guān)關(guān)閉以及第二耦接開關(guān)開啟和該補(bǔ)償電路隔離。由于本專利技術(shù)可利用該補(bǔ)償電路補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容與該讀取電路的制程變異所造成的電容變異，所以本專利技術(shù)可改善該讀取電路因?yàn)樵撾娙葑儺愃斐傻牧鉍偏移，而產(chǎn)生錯誤的輸出信號。附圖說明圖I是為本專利技術(shù)的一實(shí)施例說明一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路的示意圖。圖2是為本專利技術(shù)的還一實(shí)施例說明一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路的不意圖。圖3是為本專利技術(shù)的還一實(shí)施例說明一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法的流程圖。圖4是為本專利技術(shù)的還一實(shí)施例說明一種微機(jī)電電路補(bǔ)償電容偏移的方法的流程圖。其中，附圖標(biāo)記說明如下100、200微機(jī)電電路102微機(jī)電差動電容104讀取電路106控制電路108補(bǔ)償電路 110查閱表202第一耦接開關(guān)204第二耦接開關(guān)1022第一電容1024第二電容1082第一開關(guān)1084第二開關(guān)1086第三開關(guān)1088可變電容10881-10884電容單元108812、108822、108832、108842 電容108814,108824,108834,108844 開關(guān)Diff差值CS控制信號GND地端OS輸出信號VDD第一電壓300 至 310、400 至 420步驟具體實(shí)施例方式請參照圖1，圖I是為本專利技術(shù)的一實(shí)施例說明一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路100的示意圖。微機(jī)電電路100包含微機(jī)電差動電容102、讀取電路104、控制電路106及補(bǔ)償電路108。微機(jī)電差動電容102包含第一電容1022與第二電容1024，其中第一電容1022是與第二電容1024在零G情況時(shí)可為相同或相異。讀取電路104是耦接于微機(jī)電差動電容102，用以讀取第一電容1022與第二電容1024之間在零G情況時(shí)的差值Diff，并根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS ;控制電路106是耦接于讀取電路104，用以接收輸出信號OS，并根據(jù)微機(jī)電電路100還包含的查閱表110及輸出信號OS，產(chǎn)生控制信號CS，其中控制信號CS是為4位信號。但4位的控制信號CS僅是用以說明本專利技術(shù)，因此本專利技術(shù)并不受限于控制信號CS是為4位信號。補(bǔ)償電路108是耦接于控制電路106，用以根據(jù)控制信號CS，補(bǔ)償微機(jī)電差動電容102。如圖I所示，第一電容1022具有第一端，耦接于讀取電路104，及第二端，耦接于讀取電路104 ;第二電容1024具有第一端，耦接于第一電容1022的第二端，及第二端，耦接于讀取電路104。如圖I所示，補(bǔ)償電路108包含第一開關(guān)1082、第二開關(guān)1084、第三開關(guān)1086及可變電容1088。第一開關(guān)1082具有第一端,稱接于第一電容1022的第一端,及第二端，用以接收控制信號CS，及第三端；第二開關(guān)1084具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于第二電容1024的第二端；第三開關(guān)1086具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于地端GND ;可變電容1088是耦接于第一開關(guān)1082的第三端與第一電容1022的第二端之間，其中可變電容1088是根據(jù)控制信號CS，改變可變電容1088的電容值，以補(bǔ)償微機(jī)電差動電容102。如圖I所示，可變電容1088包含4個電容單元10881-10884，每一電容單元1088i包含電容1088i2具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，及第二端；開關(guān)1088i4具有第一端，耦接于電容1088i2的第二端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于第一電容1022的第二端，其中O < i < 4，且i是為正整數(shù)。例如，電容單元10881包含電容108812具有第一端，耦接于第一開關(guān)1082的第三端，及第二端；開關(guān)108814具有第一端，耦接于電容108812的第二端，第二端，用以接收控制信號CS，及第三端，耦接于第一電容1022的第二端。但4個電容單元10881-10884僅是用以說明本專利技術(shù)，因此本專利技術(shù)并不受限于4個電容單元10881-10884。另外，在本專利技術(shù)的還丨實(shí)施例，開關(guān)1088i4的第一端是耦接于第一開關(guān)1082的第三端；電容1088i2的第一端是耦接于開關(guān)1088i4的第二端，以及電容1088i2的第二端是耦接于第一電容1022的第二端。如圖I所示，當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時(shí)的差值Diff是等于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100沒有零G偏移)時(shí)，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS。控制電路106即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082與第二開關(guān)1084根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈谌_關(guān)1086開啟，所以可變電容1088中的電容108812-108842的第一端皆耦接于地端GND。亦即可變電容1088被視為讀取電路104內(nèi)的寄生電容，且不補(bǔ)償?shù)谝浑娙?022與第二電容1024。另外，如果第一電容1022與第二電容1024相同，則默認(rèn)值是為零；如果第一電容1022與第二電容1024不同，則默認(rèn)值是為定值，例如10fF。但本專利技術(shù)并不受限于默認(rèn)值是為10fF。當(dāng)?shù)谝浑娙?022與第二電容1024之間在零G情況時(shí)的差值Diff是大于默認(rèn)值(微機(jī)電電路100具有零G偏移)時(shí)，讀取電路104根據(jù)差值Diff，產(chǎn)生輸出信號OS。控制電路106即可根據(jù)輸出信號OS和查閱表110，產(chǎn)生控制信號CS。而補(bǔ)償電路108中的第一開關(guān)1082與第三開關(guān)1086根據(jù)控制信號CS關(guān)閉，且第二開關(guān)1084根據(jù)控制信號CS開啟。因?yàn)榈诙_關(guān)1084開啟，所以本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
一種可補(bǔ)償電容偏移的微機(jī)電電路，包含：微機(jī)電差動電容，包含第一電容與第二電容；讀取電路，耦接于該微機(jī)電差動電容，用以讀取該第一電容與該第二電容之間在零G情況時(shí)的差值，并根據(jù)該差值，產(chǎn)生輸出信號；該微機(jī)電電路的特征在于還包括：控制電路，耦接于該讀取電路，用以接收該輸出信號，并產(chǎn)生控制信號；及補(bǔ)償電路，耦接于該控制電路，用以根據(jù)該控制信號，補(bǔ)償該微機(jī)電差動電容。
【技術(shù)特征摘要】
...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：吳家岱，
申請(專利權(quán))人：立積電子股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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